一種用于芯片質(zhì)子交換的機(jī)械臂控制夾具及其使用方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911193375.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110842961A 公開(kāi)（公告）日 2020-02-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN110842961A 申請(qǐng)公布日 2020-02-28
分類(lèi)號(hào) B25J15/00;B25J15/08;G02B6/134 分類(lèi) 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車(chē)間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 陳友生 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 湖南率為控制科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京慕達(dá)星云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 湖南率為控制科技有限公司
地址 421000 湖南省衡陽(yáng)市雁峰區(qū)岳屏鎮(zhèn)東風(fēng)村十二組衡山科學(xué)城紅樹(shù)林研發(fā)創(chuàng)新區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于芯片質(zhì)子交換的機(jī)械臂控制夾具，固定于質(zhì)子交換爐的頂端及內(nèi)部，包括：固定模塊、電機(jī)控制裝置、傳動(dòng)裝置、機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)懸臂、機(jī)械位移臂、夾具卡持模塊、芯片夾具。另外，本發(fā)明還公開(kāi)了一種根據(jù)機(jī)械臂控制夾具進(jìn)行質(zhì)子交換的方法。本發(fā)明可以機(jī)械控制鈮酸鋰基片的移動(dòng)，有效地減小質(zhì)子交換過(guò)程中的人工操作及開(kāi)關(guān)質(zhì)子交換爐給交換過(guò)程帶來(lái)的溫度波動(dòng)，從而減小對(duì)操作人員的身體傷害并提高質(zhì)子交換制作鈮酸鋰光波導(dǎo)的穩(wěn)定性。