原子自組裝多元涂層的設(shè)計(jì)制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111175756.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113987760A 公開（公告）日 2022-01-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113987760A 申請(qǐng)公布日 2022-01-28
分類號(hào) G06F30/20（2020.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;G16C60/00（2019.01）I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 章嵩;涂溶;王傳彬;張聯(lián)盟;沈強(qiáng);李志榮;李迎春 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東匯成真空科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 代理人 官群;崔友明
地址 430070湖北省武漢市洪山區(qū)珞獅路122號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種原子自組裝多元涂層的設(shè)計(jì)制備方法，以單質(zhì)材料作為原料，根據(jù)目標(biāo)多元涂層所需要的化學(xué)組分以及結(jié)構(gòu)需要，采用計(jì)算機(jī)軟件模擬制備參數(shù)，然后將所得制備參數(shù)導(dǎo)入沉積設(shè)備的自動(dòng)化工藝程序中，沉積制備得到多元涂層。本發(fā)明提供的沉積制備方法根據(jù)目標(biāo)多元涂層的顯微結(jié)構(gòu)和成分比例，通過計(jì)算擬合得到t、f（P）和三個(gè)變量的解，根據(jù)結(jié)果設(shè)定制備參數(shù)并完成制備，能夠高效精確地實(shí)現(xiàn)目標(biāo)多元涂層的設(shè)計(jì)和制備。此外，本發(fā)明采用單質(zhì)材料作為原料，單質(zhì)材料能夠用于不同體系的多元涂層的制備，降低靶材開發(fā)成本，同時(shí)，單質(zhì)材料相比于合金材料更有利于計(jì)算擬合。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)所有涂層結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及制備，應(yīng)用范圍廣，適用性強(qiáng)。