一種微波化學氣相沉積金剛石裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120949481.6 申請日 -
公開（公告）號 CN216074027U 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN216074027U 申請公布日 2022-03-18
分類號 C23C16/27（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李志榮;牛二輝;馮曉庭 申請（專利權(quán)）人 廣東匯成真空科技股份有限公司
代理機構(gòu) 廣州知友專利商標代理有限公司 代理人 周克佑
地址 523838廣東省東莞市大嶺山鎮(zhèn)顏屋龍園路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種微波化學氣相沉積金剛石裝置，其包括一真空反應(yīng)室，真空反應(yīng)室的腔體的頂部設(shè)有外接微波波導管的石英玻璃窗口、以及供入反應(yīng)氣的開孔環(huán)形氣道，腔體內(nèi)設(shè)有可升降的試樣臺，腔體固定在腔體固定板上，其特征是：所述試樣臺也設(shè)有供入反應(yīng)氣的開孔環(huán)形氣道。本實用新型在反應(yīng)室下方的試樣臺下面增設(shè)有環(huán)形氣道布氣，在靠近金剛石生長區(qū)近距離補充新鮮反應(yīng)氣體，可獲得更多更具活性的初生碳，更有利于提高金剛石生長速率和定好率；且增設(shè)的布氣結(jié)構(gòu)為在原有設(shè)備的水冷盤上方只增加一只工件盤進氣板、連接穿過水冷盤升降軸內(nèi)腔增置的供氣管，再外接送氣嘴便可實現(xiàn)。結(jié)構(gòu)簡易、造價低。