一種用于大長徑比管材內(nèi)壁鍍膜的脈沖激光沉積裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121842996.2 申請日 -
公開（公告）號 CN215481231U 公開（公告）日 2022-01-11
申請公布號 CN215481231U 申請公布日 2022-01-11
分類號 C23C14/28（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 章嵩;涂溶;王傳彬;張聯(lián)盟;沈強;李志榮;李迎春 申請（專利權(quán)）人 廣東匯成真空科技股份有限公司
代理機構(gòu) 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 代理人 官群;崔友明
地址 430070湖北省武漢市洪山區(qū)珞獅路122號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種用于大長徑比管材內(nèi)壁鍍膜的脈沖激光沉積裝置，所述裝置包括：帶有靶材（3）的靶座（10）；用于支撐靶座的多根可伸縮支桿；控制靶座沿大長徑比管材軸心方向移動的傳動裝置；用于大長徑比管材兩端密封的兩個密封端，每個密封端設(shè)有兩個石英窗口（8）；與一個密封端連接的抽真空系統(tǒng)；脈沖激光裝置，用于從石英窗口射入激光至靶材表面。本實用新型提供的用于大長徑比管材內(nèi)壁鍍膜的脈沖激光沉積裝置利用可伸縮支桿和傳動裝置控制靶座沿大長徑比管材軸心方向移動，解決現(xiàn)有技術(shù)中靶系統(tǒng)自重過大，移動位置偏離管材軸心導(dǎo)致鍍膜效果不穩(wěn)定的問題，并且通過在一個靶座上安裝多種靶材或拼合靶材實現(xiàn)復(fù)雜多層復(fù)合膜層的制備。