一種晶圓傳輸裝置用定位工裝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122116026.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215578478U | 公開（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215578478U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-01-18 |
| 分類號(hào) | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 唐正隆;王正輝;吳星華;儲(chǔ)長(zhǎng)流;張立 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 合肥開悅半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京圣州專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉巖 |
| 地址 | 230093安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)合肥空港經(jīng)濟(jì)示范區(qū)天柱山大道西、碩放路南電子廠房研發(fā)樓4樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種晶圓傳輸裝置用定位工裝，包括固定盤以及若干圓周對(duì)稱分布于所述固定盤上的定位塊，所述定位塊包括固定板、移動(dòng)板以及固定螺釘，所述固定板一端設(shè)置有卡臺(tái)，所述固定板另一端設(shè)置有插槽，所述移動(dòng)板一端插入到所述插槽內(nèi)并通過固定螺釘固定，所述移動(dòng)板另一端設(shè)置定位凸起。采用上述結(jié)構(gòu)的一種晶圓傳輸裝置用定位工裝，適用于多種尺寸的晶圓固定，定位可靠，提高了傳輸裝置的兼容性，降低設(shè)備成本。 |
