一種檢測(cè)閥門工作過(guò)程中粒子脫落數(shù)量的系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811513354.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109406134A 公開(kāi)（公告）日 2019-03-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN109406134A 申請(qǐng)公布日 2019-03-01
分類號(hào) G01M13/003;G01N15/10 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張智明;孫圍華;靳毅;劉繪生;余健;宋敏;陳澤蕓;王叢嶺;蔣丹 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 九川真空科技成都有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都嘉企源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡林
地址 610210 四川省成都市中國(guó)(四川)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)公興街道雙興大道1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種檢測(cè)閥門工作過(guò)程中粒子脫落數(shù)量的系統(tǒng)，包括真空裝置、待測(cè)閥門、待測(cè)閥門驅(qū)動(dòng)裝置、氣體通入裝置和粒子計(jì)數(shù)器，真空裝置包括腔體和抽真空裝置，待測(cè)閥門驅(qū)動(dòng)裝置與待測(cè)閥門相連，待測(cè)閥門放置在腔體內(nèi)，真空裝置與氣體通入裝置和粒子計(jì)數(shù)器相連。本發(fā)明能夠檢測(cè)閥門工作過(guò)程中粒子脫落的數(shù)量，以便閥門的生產(chǎn)方和購(gòu)買方能夠準(zhǔn)確了解到閥門的粒子脫落量數(shù)據(jù)，解決了由于閥門粒子脫落量不符合要求而造成半導(dǎo)體或者光伏組件的質(zhì)量受到影響的問(wèn)題。