一種檢測(cè)閥門工作過(guò)程中粒子脫落數(shù)量時(shí)用到的真空裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201822074131.0 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN209166819U 公開(公告)日 2019-07-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN209166819U 申請(qǐng)公布日 2019-07-26
分類號(hào) G01M13/003(2019.01)I; G01N15/10(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 孫圍華; 靳毅; 王叢嶺; 宋敏; 劉繪生; 余健; 陳澤蕓; 蔣丹 申請(qǐng)(專利權(quán))人 九川真空科技成都有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都嘉企源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡林
地址 610210 四川省成都市中國(guó)(四川)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)公興街道雙興大道1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種檢測(cè)閥門工作過(guò)程中粒子脫落數(shù)量時(shí)用到的真空裝置,其包括底板、固定夾板法蘭、活動(dòng)夾板法蘭、定位塊和活動(dòng)夾緊裝置,固定夾板法蘭和活動(dòng)夾板法蘭夾緊在待測(cè)閥門的正反兩面上,定位塊和活動(dòng)夾緊裝置夾緊在待測(cè)閥門的兩側(cè)面上,固定夾板法蘭和活動(dòng)夾板法蘭上均設(shè)置有內(nèi)凹槽和通氣孔,通氣孔與內(nèi)凹槽相連通,待測(cè)閥門的通槽與固定夾板法蘭和活動(dòng)夾板法蘭上的內(nèi)凹槽形成空腔。本實(shí)用新型能夠?yàn)榇郎y(cè)閥門提供一個(gè)真空密封環(huán)境,當(dāng)接入真空系統(tǒng)后使得待測(cè)閥門更加接近其實(shí)際的工作環(huán)境,以便獲得準(zhǔn)確的粒子脫落數(shù)量數(shù)據(jù)。