一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數(shù)量的系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822074120.2 申請日 -
公開（公告）號 CN209166818U 公開（公告）日 2019-07-26
申請公布號 CN209166818U 申請公布日 2019-07-26
分類號 G01M13/003（2019.01）I; G01N15/10（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 靳毅; 王叢嶺; 孫圍華; 宋敏; 劉繪生; 余健; 蔣丹 申請（專利權(quán)）人 九川真空科技成都有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都嘉企源知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡林
地址 610210 四川省成都市中國（四川）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)公興街道雙興大道1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數(shù)量的系統(tǒng)，包括真空裝置、待測閥門、待測閥門驅(qū)動裝置、氣體通入裝置和粒子計(jì)數(shù)器，真空裝置包括腔體和抽真空裝置，待測閥門驅(qū)動裝置與待測閥門相連，待測閥門放置在腔體內(nèi)，真空裝置與氣體通入裝置和粒子計(jì)數(shù)器相連。本實(shí)用新型能夠檢測閥門工作過程中粒子脫落的數(shù)量，以便閥門的生產(chǎn)方和購買方能夠準(zhǔn)確了解到閥門的粒子脫落量數(shù)據(jù)，解決了由于閥門粒子脫落量不符合要求而造成半導(dǎo)體或者光伏組件的質(zhì)量受到影響的問題。