一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數(shù)量的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811511770.7 申請日 -
公開（公告）號 CN109406133B 公開（公告）日 2020-07-17
申請公布號 CN109406133B 申請公布日 2020-07-17
分類號 G01M13/003;G01N15/10 分類 測量；測試;
發(fā)明人 靳毅;孫圍華;劉繪生;余健;王叢嶺;蔣丹;宋敏;陳澤蕓 申請（專利權(quán)）人 九川真空科技成都有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都嘉企源知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡林
地址 637200 四川省南充市西充縣多扶工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數(shù)量的方法，首先將腔體抽真空，然后讓閥門開啟和關(guān)閉，讓閥門開啟和關(guān)閉的次數(shù)達(dá)到待測閥門實際的工作次數(shù)后，閥門工作過程中脫落的粒子掉落在腔體內(nèi)，然后通過粒子計數(shù)器對脫落的粒子進(jìn)行計數(shù)。其計算原理為用氣體將脫落的粒子吹入到粒子計數(shù)器中進(jìn)行計數(shù)，然后將同樣流量的氣體吹入到粒子計數(shù)器中計數(shù)，兩者比較就可以得出脫落粒子的數(shù)量。本發(fā)明能夠檢測閥門工作過程中粒子脫落的數(shù)量，以便真空閥門的生產(chǎn)方和購買方能夠準(zhǔn)確了解到真空閥門的粒子脫落量數(shù)據(jù)，解決了由于真空閥門粒子脫落量不符合要求而造成半導(dǎo)體或者光伏組件的質(zhì)量受到影響的問題。