一種正交性自動測量、補償系統

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121158522.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214951119U 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN214951119U 申請公布日 2021-11-30
分類號 G01B11/00（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I;G06T7/70（2017.01）I;G06K9/62（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 丁寧;潘鈺 申請（專利權）人 江蘇富港智能科技有限公司
代理機構 北京恒和頓知識產權代理有限公司 代理人 沈楊
地址 210000江蘇省徐州市睢寧縣雙溝鎮(zhèn)臨空大道與安瀾大道交叉口
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種正交性自動測量、補償系統，包括運動平臺，所述運動平臺側壁固定連接有X軸導軌和Y軸導軌，所述X軸導軌側壁滑動連接有視覺系統，所述Y軸導軌側壁滑動連接有標定板。本實用新型通過設置視覺系統和標定板，使得X軸導軌和Y軸導軌的相對運動由相機抓取并和標定板對比，使得X軸導軌和Y軸導軌就會被補償為垂直，提高了工作效率，通過設置高精度標定圖案的精度為1um，使得相機抓取的X軸導軌和Y軸導軌的相對運動與高精度標定圖案進行比對時，精度更高，使得X軸導軌和Y軸導軌之間的誤差更小，提高曝光精度和質量。