一種金屬網(wǎng)格的光罩拼接方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811227277.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109254692A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109254692A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-09 |
| 分類(lèi)號(hào) | G06F3/041;G03F7/20 | 分類(lèi) | 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù); |
| 發(fā)明人 | 蘇偉;王雷;王海峰;高榮亮;陸永榮 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 深圳市志凌偉業(yè)技術(shù)股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京匯捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 馬金華 |
| 地址 | 518000 廣東省深圳市龍華新區(qū)觀瀾街道凹背社區(qū)大富工業(yè)區(qū)大富二路鵬龍?bào)锤呖萍紙@B棟4樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種金屬網(wǎng)格的光罩拼接方法，包含以下步驟：步驟一：拆分金屬網(wǎng)格；步驟二：一次規(guī)避線(xiàn)路重影及線(xiàn)路變粗；步驟三：生產(chǎn)時(shí)采用二次曝光；步驟四：二次規(guī)避線(xiàn)路重影及線(xiàn)路變粗。步驟一中，所述金屬網(wǎng)格覆蓋在光罩的表面，金屬網(wǎng)格包括產(chǎn)品A部分和產(chǎn)品B部分，步驟三中，曝光處理采用曝光機(jī)進(jìn)行對(duì)產(chǎn)品A部分和產(chǎn)品B部分進(jìn)行曝光，曝光機(jī)中曝光機(jī)燈管直接放置在產(chǎn)品A部分和產(chǎn)品B部分的正上方進(jìn)行曝光處理，本發(fā)明通過(guò)特殊設(shè)計(jì)的專(zhuān)利技術(shù)能夠完成金屬網(wǎng)格的拼接，從而使能夠生產(chǎn)的網(wǎng)格面積大小成倍數(shù)增長(zhǎng)，適合推廣。 |
