一種鈣鈦礦太陽能電池原位退火成膜裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122198906.7 申請日 -
公開（公告）號 CN216120355U 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN216120355U 申請公布日 2022-03-22
分類號 H01L51/48（2006.01）I;H01L51/42（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李新連;肖平;趙志國;秦校軍;趙東明;張赟;夏淵;張杰 申請（專利權(quán)）人 華能新能源股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李海建
地址 100036北京市海淀區(qū)復(fù)興路甲23號10、11層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型一種鈣鈦礦太陽能電池原位退火成膜裝置，包括：基片；平臺(tái)；加熱組件，加熱組件設(shè)置在平臺(tái)附近，用于給基片提供熱量；控制開關(guān)，控制開關(guān)用于控制加熱組件的啟停。在本實(shí)用新型中，在平臺(tái)的基片上涂布膜層，涂布后膜層的位置不必發(fā)生變化，直接通過控制開關(guān)將加熱組件打開，就可以對膜層進(jìn)行加熱退火。由于省去了向退火爐周轉(zhuǎn)膜層的步驟，因此就能夠規(guī)避膜層在自然狀態(tài)下?lián)]發(fā)溶劑。另外，本實(shí)用新型將加熱組件設(shè)置在平臺(tái)的下方，加熱組件的熱量通過熱輻射快速傳遞給基片。膜層成型于基片上，如果從基片的底部開始加熱，那么膜層中的溶劑會(huì)優(yōu)先與表層的溶劑接收熱量，如此便利于膜層中溶劑的揮發(fā)，從而解決了膜層中溶劑難以揮發(fā)的問題。