一種釔鋇銅氧靶材的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210039987.9 申請日 -
公開（公告）號 CN102584205B 公開（公告）日 2013-07-10
申請公布號 CN102584205B 申請公布日 2013-07-10
分類號 C04B35/45(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 鐘小亮;王廣欣;王樹森 申請（專利權(quán)）人 蘇州晶純新材料有限公司
代理機構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標事務(wù)所有限公司 代理人 汪青
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港市國泰北路1號留學生創(chuàng)業(yè)園D-102
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種釔鋇銅氧靶材的制造方法，其包括：（1）將Y2O3、BaO、CuO按一定比例（原子比比例為Y∶Ba∶Cu=1∶2∶3）混合均勻得混合粉末，Y2O3、BaO及CuO的一次粒度為100～300nm，純度大于99.9wt%；（2）對混合粉末進行四柱液壓機冷壓壓制成型，冷壓壓力為200～300MPa；（3）將混合體放入氧氣常壓燒結(jié)爐中，在800～950℃下燒結(jié)，燒結(jié)完畢，冷卻到常溫取出，破碎成-300目的粉末；（4）將粉末用四柱液壓機冷壓壓制成型為坯件，冷壓壓力為30～50MPa；（5）對坯件進行冷等靜壓加工，壓力為200～300MPa；（6）將坯件置于爐中進行燒結(jié)。本發(fā)明制造出的釔鋇銅氧靶材，其晶粒尺寸細小且致密度高。