一種用于清洗載盤的清洗槽

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123385940.1 申請日 -
公開（公告）號 CN216501185U 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號 CN216501185U 申請公布日 2022-05-13
分類號 B08B3/12（2006.01）I;B08B9/28（2006.01）I;B08B9/22（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 徐全 申請（專利權(quán)）人 西安奕斯偉材料科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安維英格知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 710100陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號1-3-029室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于清洗載盤的清洗槽；所述清洗槽包括：承載多個載盤的內(nèi)槽以及圍設(shè)于所述內(nèi)槽的外槽；其中，所述內(nèi)槽中固定地設(shè)置有至少一根懸掛桿，用于懸掛多個載盤；所述內(nèi)槽中盛放有能夠完全浸沒多個所述載盤的清洗液以化學(xué)分解所述載盤上的附著異物；所述外槽中設(shè)置有超聲波清洗單元，用于對所述內(nèi)槽中的多個所述載盤進(jìn)行超聲波清洗。