一種雙面研磨裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123366531.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216542671U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-05-17 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216542671U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-17 |
| 分類(lèi)號(hào) | B24B37/08（2012.01）I;B24B37/11（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B49/00（2012.01）I;B24B47/22（2006.01）I | 分類(lèi) | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 賀云鵬;王賀 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 西安奕斯偉材料科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 西安維英格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 710065陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號(hào)1-3-029室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種雙面研磨裝置，所述雙面研磨裝置包括：對(duì)置的一對(duì)流體靜壓墊；對(duì)置的一對(duì)研磨輪，所述一對(duì)研磨輪分別固定在所述一對(duì)流體靜壓墊上；夾持裝置，所述夾持裝置用于將待研磨件夾持在所述一對(duì)研磨輪之間；監(jiān)測(cè)單元，所述監(jiān)測(cè)單元用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)所述待研磨件相對(duì)于所述一對(duì)研磨輪的位置并且在所述待研磨件相對(duì)于所述一對(duì)研磨輪的位置超出預(yù)定范圍時(shí)發(fā)送監(jiān)測(cè)信號(hào)；調(diào)整單元，所述調(diào)整單元用于基于所述監(jiān)測(cè)信號(hào)將所述待研磨件相對(duì)于所述一對(duì)研磨輪的位置調(diào)整到所述預(yù)定范圍內(nèi)。 |
