借助少子壽命表征硅片吸除金屬雜質(zhì)效率的裝置和方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111633459.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114509450A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-05-17 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114509450A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-17 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N22/00（2006.01）I;G01R21/00（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 金鉉洙 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 西安奕斯偉材料科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 西安維英格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 710100陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號(hào)1-3-029室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種借助于少子壽命表征硅片吸除金屬雜質(zhì)效率的裝置和方法，該裝置包括：清洗模塊，所述清洗模塊經(jīng)配置為準(zhǔn)備待測(cè)硅片并清洗所述硅片；少子壽命測(cè)量模塊，所述少子壽命測(cè)量模塊經(jīng)配置為測(cè)量所述硅片的少子壽命；熱處理模塊，所述熱處理模塊經(jīng)配置為針對(duì)所述硅片進(jìn)行熱處理；計(jì)算器模塊，所述計(jì)算器模塊經(jīng)配置為記錄并計(jì)算所述少子壽命測(cè)量模塊的測(cè)量值，并根據(jù)所述測(cè)量值間接計(jì)算所述硅片的捕獲金屬雜質(zhì)效率。 |
