兆聲清洗中晶圓轉(zhuǎn)速檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811227971.4 申請日 -
公開（公告）號 CN109461678A 公開（公告）日 2019-03-12
申請公布號 CN109461678A 申請公布日 2019-03-12
分類號 H01L21/67（2006.01）I; G01P3/64（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黎三妹 申請（專利權(quán)）人 深圳鑫安滿金融服務有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 518031 廣東省深圳市福田區(qū)華發(fā)北路46號桑達大廈810
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了兆聲清洗中晶圓轉(zhuǎn)速檢測裝置，其結(jié)構(gòu)包括進水端、密封門、晶圓轉(zhuǎn)速檢測裝置、檢測機外殼、鎖件、支撐防潮板，晶圓轉(zhuǎn)速檢測裝置通過嵌入的方式安裝在檢測機外殼內(nèi)部，鎖件背部通過合頁與檢測機外殼正端面中間位置，鎖件內(nèi)部通過嵌入的方式安裝在密封門正端面頂端，密封門正端面底端通過合頁與檢測機外殼正端面中間靠下位置活動連接在一起，進水端移動通過嵌入的方式安裝在檢測機外殼正端面右側(cè)中間位置，本發(fā)明主要利用射線識別機構(gòu)與轉(zhuǎn)速信號發(fā)射機構(gòu)相互配合，通過識別信號發(fā)射端兩次的時間差判斷晶圓是否處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，且能夠檢測器轉(zhuǎn)速，從而實現(xiàn)檢測兆聲清洗過程晶圓的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。