兆聲清洗中晶圓轉(zhuǎn)速檢測(cè)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811227971.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN109461678B | 公開（公告）日 | 2019-03-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109461678B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-03-12 |
| 分類號(hào) | H01L21/67(2006.01)I;G01P3/64(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 黎三妹 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深圳鑫安滿金融服務(wù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京華識(shí)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 南京溧水高新創(chuàng)業(yè)投資管理有限公司 |
| 地址 | 210000江蘇省南京市溧水經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)柘塘街道福田路科創(chuàng)大廈 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了兆聲清洗中晶圓轉(zhuǎn)速檢測(cè)裝置，其結(jié)構(gòu)包括進(jìn)水端、密封門、晶圓轉(zhuǎn)速檢測(cè)裝置、檢測(cè)機(jī)外殼、鎖件、支撐防潮板，晶圓轉(zhuǎn)速檢測(cè)裝置通過嵌入的方式安裝在檢測(cè)機(jī)外殼內(nèi)部，鎖件背部通過合頁與檢測(cè)機(jī)外殼正端面中間位置連接，鎖件內(nèi)部通過嵌入的方式安裝在密封門正端面頂端，密封門正端面底端通過合頁與檢測(cè)機(jī)外殼正端面中間靠下位置活動(dòng)連接在一起，進(jìn)水端通過嵌入的方式安裝在檢測(cè)機(jī)外殼正端面右側(cè)中間位置，本發(fā)明主要利用射線識(shí)別機(jī)構(gòu)與轉(zhuǎn)速信號(hào)發(fā)射機(jī)構(gòu)相互配合，通過識(shí)別信號(hào)發(fā)射端兩次的時(shí)間差判斷晶圓是否處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，且能夠檢測(cè)器轉(zhuǎn)速，從而實(shí)現(xiàn)檢測(cè)兆聲清洗過程晶圓的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。?? |
