射頻壓力傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011633610.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112816109B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112816109B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-15 |
| 分類號(hào) | G01L1/16（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 孫成亮;謝英;王雅馨;楊超翔;曲遠(yuǎn)航 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 寧波華彰企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙） |
| 代理機(jī)構(gòu) | 武漢科皓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 胡甜甜 |
| 地址 | 315832 浙江省寧波市北侖區(qū)梅山七星路88號(hào)1幢401室A區(qū)E2025 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種射頻壓力傳感器，包括帶有空腔的襯底，沉積在襯底上表面的布拉格反射柵層結(jié)構(gòu)以及形成在反射柵層結(jié)構(gòu)上的壓電堆疊結(jié)構(gòu)。布拉格反射柵層結(jié)構(gòu)從下至上依次為低聲阻抗層和高聲阻抗層的交替疊加；壓電堆疊結(jié)構(gòu)從下至上依次為底電極、壓電層及頂電極。當(dāng)壓力作用于傳感器時(shí)，由于空腔的存在，壓電堆疊結(jié)構(gòu)、反射柵層結(jié)構(gòu)及空腔上襯底薄層在壓力的作用下發(fā)生相應(yīng)形變，引起諧振頻率的偏移，最終測(cè)量出壓力的變化。通過(guò)設(shè)置的反射柵層結(jié)構(gòu)和空腔上的襯底層，可以增加傳感器的穩(wěn)定性；傳感器可承受更大的壓力，即可測(cè)量壓力范圍更大，應(yīng)用范圍更廣。同時(shí)，SiO2薄膜層可以減少諧振器的溫漂問(wèn)題，進(jìn)一步增大傳感器的穩(wěn)定性與準(zhǔn)確性。 |
