一種磁場(chǎng)旋轉(zhuǎn)磁控柱弧靶

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201520244431.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN204644453U 公開（公告）日 2015-09-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN204644453U 申請(qǐng)公布日 2015-09-16
分類號(hào) C23C14/35(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 鄢強(qiáng);宋慧瑾 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川宇戕科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都正華專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 成都金倍科技有限公司;北京天元恒泰環(huán)?？萍加邢薰?四川宇戕科技有限公司
地址 610000 四川省成都市高新區(qū)高朋大道5號(hào)A座2樓公共秘書平臺(tái)A-348位
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種磁場(chǎng)旋轉(zhuǎn)磁控柱弧靶，包括靶座，分水套，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，靶體，防水罩和磁軸。靶座包括大法蘭，以及大法蘭下部連接的屏蔽罩，大法蘭上部的密封環(huán)、密封座和絕緣壓環(huán)；分水套含帶支架分水環(huán)、密封軸座，以及密封軸座的電極連接片和密封軸座內(nèi)的帶動(dòng)磁芯部旋轉(zhuǎn)軸；磁軸包括磁軛和裝配在其槽內(nèi)的磁體；防水罩由不銹鋼圓管和兩端可拆卸密封墊將磁軛的上下端密封；靶體由結(jié)構(gòu)對(duì)稱的靶材和用于密封水的端蓋組成；電機(jī)帶動(dòng)大小齒輪傳動(dòng)組，進(jìn)而帶動(dòng)磁軸勻速旋轉(zhuǎn)。使用上述結(jié)構(gòu)的磁場(chǎng)旋轉(zhuǎn)磁控柱弧靶，有益于靶材利用率提高；極大地降低故障率，延長單次使用壽命；結(jié)構(gòu)簡單，方便裝配及檢修；融入一體化設(shè)計(jì)理念，利于快捷更換靶。