一種靶管旋轉(zhuǎn)磁控柱弧靶

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520244401.1 申請日 -
公開（公告）號 CN204644452U 公開（公告）日 2015-09-16
申請公布號 CN204644452U 申請公布日 2015-09-16
分類號 C23C14/35(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 鄢強(qiáng);宋慧瑾 申請（專利權(quán)）人 四川宇戕科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都正華專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李林合
地址 610000 四川省成都市高新區(qū)高朋大道5號A座2樓公共秘書平臺A-348位
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種靶管旋轉(zhuǎn)磁控柱弧靶，包括分水套，靶座，靶體，防水罩，磁軸；分水套內(nèi)上部有帶支架限位分水環(huán)，下部為軸封組；大法蘭下部有屏蔽罩，上部安裝有絕緣密封套，絕緣密封套上設(shè)有軸套；軸套內(nèi)裝有軸封組和調(diào)心軸承；軸套上有壓墊、銅鼻固定在壓墊上；推力球軸承上有兩限位半環(huán)及環(huán)套；傳動齒輪通過絕緣環(huán)與靶管上端絕緣；電機(jī)支承板安裝在大法蘭上，同時(shí)支承電機(jī)和分水套；靶體由結(jié)構(gòu)對稱的靶管和用于密封水的端蓋組成；磁軸包含磁軛和裝配在其上的磁體，磁軸中的磁場區(qū)被密封在防水罩內(nèi)。本裝置靶材利用率提高；極大地降低故障率，延長單次使用壽命；結(jié)構(gòu)簡單，方便裝配及檢修；融入一體化設(shè)計(jì)理念，利于快捷整體更換靶。