一種可延長(zhǎng)的靶管旋轉(zhuǎn)磁控柱弧靶

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201520244535.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN204644454U 公開（公告）日 2015-09-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN204644454U 申請(qǐng)公布日 2015-09-16
分類號(hào) C23C14/35(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 鄢強(qiáng);宋慧瑾 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川宇戕科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都正華專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 成都金倍科技有限公司;北京天元恒泰環(huán)?？萍加邢薰?/td>
地址 610000 四川省成都市高新區(qū)高朋大道5號(hào)A座2樓公共秘書平臺(tái)A-348位
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種可延長(zhǎng)的靶管旋轉(zhuǎn)磁控柱弧靶，包括靶座，傳動(dòng)部，分水套，靶體，防水罩，磁軸和靶體連接支承部；大法蘭下部有屏蔽罩，上部有絕緣密封套、軸套、壓墊、銅鼻、絕緣壓環(huán)、推力球軸承、限位半環(huán)、環(huán)套、絕緣環(huán)、支承板、聚四氟乙烯墊環(huán)、分水套；靶體包括靶管和端蓋；防水罩包括不銹鋼圓管和密封墊；磁軸包含磁軛和磁體，磁軸中的磁場(chǎng)區(qū)被密封在防水罩內(nèi)；靶體連接支承部有中間連接支承部和尾端連接支承部。本實(shí)用新型的可無(wú)限延長(zhǎng)靶管旋轉(zhuǎn)磁控柱弧靶是真空鍍膜機(jī)上的核心零件，它使得一次性對(duì)極大或極長(zhǎng)的特殊產(chǎn)品或零部件進(jìn)行真空鍍膜或涂層等表面處理變得真正現(xiàn)實(shí)可行。