一種酸洗槽去除氣泡裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023280074.5 申請日 -
公開（公告）號 CN215822411U 公開（公告）日 2022-02-15
申請公布號 CN215822411U 申請公布日 2022-02-15
分類號 B01D19/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 張展;鄧信甫;徐銘;陳佳煒 申請（專利權）人 上海至純潔凈系統科技股份有限公司
代理機構 上海申新律師事務所 代理人 沈棟棟
地址 200241上海市閔行區(qū)紫海路170號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種酸洗槽去除氣泡裝置，涉及到去氣泡技術領域，包括幫浦、酸液過濾器、分流管路、導流結構和破氣泡結構，其中，酸液過濾器位于幫浦的上側，且?guī)推诌B接酸液過濾器，酸液過濾器的出液口連接分流管路；分流管路包括第一管路和第二管路，第一管路的一端與出液口連接，第一管路的另一端與第二管路的一端連接，其中，第二管路的一端內壁上設有一液體回流面和設于液體回流面下側的破氣泡結構，第二管路的一端內壁上還設有一導流結構，導流結構與破氣泡結構相正對。其利用簡易的分流管路與幫浦的推動力作用，即可產生將液泡分離的作用，達成在輸送各種溶劑或是混合溶液至晶圓濕法工藝區(qū)移除氣泡的具體作用。