一種SiCl4輸送系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120281764.8 申請日 -
公開（公告）號 CN215516634U 公開（公告）日 2022-01-14
申請公布號 CN215516634U 申請公布日 2022-01-14
分類號 B67D7/02（2010.01）I;B67D7/72（2010.01）I;B67D7/58（2010.01）I 分類 開啟或封閉瓶子、罐或類似的容器；液體的貯運;
發(fā)明人 連海洲;吳海華 申請（專利權(quán)）人 上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司
代理機構(gòu) 上海智力專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 杜冰云;周濤
地址 200241上海市閔行區(qū)紫海路170號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種SiCl4輸送系統(tǒng)，包括源料罐車、氮壓式卸料子系統(tǒng)、泵送式輸送子系統(tǒng)和氮壓式供給子系統(tǒng)，所述源料罐車用于存儲液態(tài)的SiCl4源料；氮壓式卸料子系統(tǒng)用于利用氮氣將SiCl4源料從源料罐車中壓出并輸送至泵送式輸送子系統(tǒng)中；泵送式輸送子系統(tǒng)用于將SiCl4源料以設(shè)定壓力輸送至氮壓式供給子系統(tǒng)；氮壓式供給子系統(tǒng)用于將SiCl4源料分流供給給各個工藝機臺。本實用新型綜合了氮壓式和泵送式的優(yōu)點，安全性更高，輸送壓力穩(wěn)定，提高了原料供應(yīng)系統(tǒng)的安全性和流量穩(wěn)定性。