一種可控制半導(dǎo)體濕法清洗溶液中混酸濃度的混酸裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023322365.6 申請日 -
公開（公告）號 CN215586008U 公開（公告）日 2022-01-21
申請公布號 CN215586008U 申請公布日 2022-01-21
分類號 B01F23/40（2022.01）I;B01F35/20（2022.01）I;B01F35/71（2022.01）I;B01F35/75（2022.01）I;B01F35/80（2022.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 張靜;李志鋒;徐銘;陳佳煒;鄧信甫;劉大威 申請（專利權(quán)）人 上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司
代理機構(gòu) 上海智力專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 杜冰云;周濤
地址 200241上海市閔行區(qū)紫海路170號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種可控制半導(dǎo)體濕法清洗溶液中混酸濃度的混酸裝置，包括殼體，分別設(shè)置在殼體內(nèi)部不同腔室內(nèi)的氣路單元和液路單元，氣路單元用以控制液路單元的管路壓力；液路單元包括混液閥、排液管、出液管和多個進液管，所述排液管和出液管分別連接至混液閥的出液口；所述進液管用于將不同液體輸送入混液閥進行瞬時混合，多個進液管并聯(lián)連接至混液閥的進液口。本實用新型的混酸裝置能夠精確控制濕法清洗溶液中的混酸濃度，提高了發(fā)應(yīng)性溶液的配比精度，同時也能大大提高反應(yīng)性溶液的配比效率。