藍寶石拋光液的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410158996.9 申請日 -
公開（公告）號 CN103881586B 公開（公告）日 2015-09-30
申請公布號 CN103881586B 申請公布日 2015-09-30
分類號 H01L21/304(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王宇湖;張秀麗;劉亞;何曉敏;沈從九 申請（專利權(quán)）人 蘇州柔陶新材料有限公司
代理機構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標事務(wù)所有限公司 代理人 范晴;夏振
地址 215000 江蘇省蘇州市城區(qū)陽澄湖鎮(zhèn)鳳陽路432號8號樓東側(cè)一、二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種藍寶石拋光液的制備方法，其特征在于所述方法包括以下步驟：（1）以平均粒徑在100～300nm范圍內(nèi)的α-Al2O3納米晶體作為晶種均勻分散在鋁鹽水溶液中作為前驅(qū)體溶液；（2）將前驅(qū)體液體通過噴霧干燥工藝制成含有α-Al2O3納米晶體晶種的球形粉體作為前驅(qū)體；（3）將前驅(qū)體在溫度范圍控制在900～1200℃的條件下進行燒結(jié)，獲得α-Al2O3粉體；（4）將α-Al2O3粉體分散到水中，并調(diào)整pH值和二次顆粒的大小，即得到藍寶石拋光液。該方法所得藍寶石拋光液平均粒度小、粒度分布窄，水分散性良好，工藝參數(shù)范圍寬且可調(diào)，大大提高了藍寶石拋光的效率及精度。