高真空磁控管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN03260240.5 申請日 -
公開（公告）號 CN2629211Y 公開（公告）日 2004-07-28
申請公布號 CN2629211Y 申請公布日 2004-07-28
分類號 H01J25/50 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沃爾科夫A.A;金霄;李北光;張曉東;劉國輝 申請（專利權(quán)）人 黑龍江省哈工大中俄科學(xué)技術(shù)合作有限公司
代理機構(gòu) 哈爾濱市哈科專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 祖玉清
地址 150001黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街副90號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供的是一種高真空磁控管。它包括陰極、陽極、磁力裝置、導(dǎo)磁體，陰極呈圓柱形，平面磁力裝置設(shè)置于陰極下面，導(dǎo)磁體位于磁力裝置的下面，陽極呈圓筒狀置于陰極外且其底部帶有工作氣體入口，陰極的側(cè)面與陽極內(nèi)壁之間有供工作氣體通過的間隙。本實用新型與眾所周知的技術(shù)處理方法相比，該發(fā)明可以在工作室內(nèi)氣體壓力為0.05－10毫托的范圍工作，無需使用輔助磁體和無需將真空室裝置復(fù)雜化。