具有穩(wěn)定頻率功能的體聲波諧振器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111043759.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113746446A 公開（公告）日 2021-12-03
申請公布號 CN113746446A 申請公布日 2021-12-03
分類號 H03H9/02（2006.01）I;H03H9/05（2006.01）I;H03H9/10（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 朱宇波;李衛(wèi)民;母志強(qiáng);吳挺俊;朱雷;俞文杰 申請（專利權(quán)）人 上海集成電路材料研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 盧炳瓊
地址 201800上海市嘉定區(qū)興賢路1180號1幢3層301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種具有穩(wěn)定頻率功能的體聲波諧振器，通過形成溫度補(bǔ)償層以實現(xiàn)對溫度頻率系數(shù)的優(yōu)化，且空腔諧振區(qū)域只有多層薄膜構(gòu)成的諧振結(jié)構(gòu)，而引出電極及通孔等結(jié)構(gòu)均遠(yuǎn)離空腔，可以避免產(chǎn)生雜波。本發(fā)明在形成空腔結(jié)構(gòu)時，無需引入犧牲層就可引入帶溫度補(bǔ)償層的壓電薄膜體聲波諧振器結(jié)構(gòu)，采用本發(fā)明的體聲波諧振器結(jié)構(gòu)無需復(fù)雜的背面工藝及精確對準(zhǔn)過程，可以得到具有溫度補(bǔ)償特性的高頻率、高耦合系數(shù)且高Q的諧振器。