一種翹曲度測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011102068.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114370811A 公開（公告）日 2022-04-19
申請公布號 CN114370811A 申請公布日 2022-04-19
分類號 G01B5/30（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊柳;孫軍;張振中;和巍巍 申請（專利權(quán)）人 深圳基本半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市坪山區(qū)坑梓街道辦事處秀新社區(qū)錦繡中路14號深福?，F(xiàn)代光學(xué)廠區(qū)B棟201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種翹曲度測量裝置。所述翹曲度測量裝置包括基座、承載機(jī)構(gòu)及測量機(jī)構(gòu)。所述承載機(jī)構(gòu)包括第一支架及測量平臺。所述測量平臺上形成有第一通孔。所述第一支架的兩端分別與所述測量平臺及所述基座螺紋連接，并在所述測量平臺與所述基座之間形成一安裝區(qū)域。所述測量機(jī)構(gòu)包括測量部和從所述測量部伸出的探針，所述測量部架設(shè)于所述安裝區(qū)域內(nèi)，且使得所述探針的第一端伸出所述第一通孔。如此，無需將待測模塊倒置，即可實(shí)現(xiàn)低成本且簡易測量的目的。本發(fā)明測量穩(wěn)定、成本較低且操作簡單。