高頻測試用探針結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210367993.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114740237A 公開（公告）日 2022-07-12
申請公布號 CN114740237A 申請公布日 2022-07-12
分類號 G01R1/067（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 黃建軍;吳永紅;趙山;胡海洋 申請（專利權(quán)）人 蘇州聯(lián)訊儀器股份有限公司
代理機構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標事務(wù)所有限公司 代理人 -
地址 215011江蘇省蘇州市高新區(qū)湘江路1508號5幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種高頻測試用探針結(jié)構(gòu)，包括本體、位于本體下方的支撐板、用于與待測試芯片接觸的探針和動點接觸探頭，當(dāng)探針與待測試芯片接觸時，動點接觸探頭隨支撐板轉(zhuǎn)動遠離靜點接觸探頭，動、靜點接觸探頭由相互接觸的初始狀態(tài)變?yōu)橄嗷シ蛛x狀態(tài)，所述支撐板中部與本體之間通過一豎直設(shè)置的第二彈性件連接，一垂直于支撐板長度方向的第一銷軸通過一轉(zhuǎn)接座安裝于所述支撐板上方位于探針與第二彈性件之間的區(qū)域，一處于拉伸狀態(tài)的第一彈性件的下端與第一銷軸連接，所述第一彈性件的上端與本體內(nèi)并位于第二銷軸、第三銷軸上方的第四銷軸連接。本發(fā)明解決了由于探針臺的疲勞性導(dǎo)致的長期使用過程中測試數(shù)據(jù)不穩(wěn)定、不一致的問題。