排氣式矩形工作臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821566707.9 申請日 -
公開（公告）號 CN209007492U 公開（公告）日 2019-06-21
申請公布號 CN209007492U 申請公布日 2019-06-21
分類號 B25H1/00（2006.01）I; B25B11/00（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機械手;
發(fā)明人 殷澤安; 劉操; 曹志彬 申請（專利權(quán)）人 東莞市譯碼半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 北京易光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 東莞市譯碼半導(dǎo)體有限公司
地址 523000 廣東省東莞市常平鎮(zhèn)盧屋村創(chuàng)業(yè)二路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種排氣式矩形工作臺，包括工作臺本體，所述工作臺本體的橫截面呈矩形狀，工作臺本體中開有若干第一軸向排氣槽及第二軸向排氣槽，第一軸向排氣槽與第二軸向排氣槽相互垂直交叉，工作臺本體上開有一排氣孔及多個放電通氣孔，排氣孔、多個放電通氣孔均分別設(shè)置于第一軸向排氣槽與第二軸向排氣槽交叉處，工作臺本體的中部設(shè)有連接頭，連接頭上設(shè)有多個通孔，通孔與放電通氣孔相貫通。本實用新型工作臺本體中的連接頭與抽氣裝置連接，抽氣裝置開啟使連接頭中的通孔與工作臺本體的放電通氣孔、第一軸向排氣槽、第二軸向排氣槽、矩形排氣槽形成氣道，將半導(dǎo)體多晶硅芯片與工作臺本體之間的空氣排空，利用氣壓差便于二次加工。