一種新型用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的打磨裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010607801.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111702655A 公開（公告）日 2020-09-25
申請公布號 CN111702655A 申請公布日 2020-09-25
分類號 B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/12;B24B47/20 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 殷澤安;許同 申請（專利權(quán)）人 東莞市譯碼半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 合肥兆信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱陳晨
地址 523581 廣東省東莞市常平鎮(zhèn)盧屋村創(chuàng)業(yè)二路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種新型用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的打磨裝置，包括半導(dǎo)體打磨機構(gòu)，所述半導(dǎo)體打磨機構(gòu)包括電機、電動伸縮桿和半導(dǎo)體片，所述半導(dǎo)體打磨機構(gòu)還包括固定主體、固定架、打磨主體、轉(zhuǎn)盤和安裝主體，所述固定架的下端固定安裝在固定主體的上端，所述打磨主體的上端固定連接在固定架上端內(nèi)側(cè)，所述轉(zhuǎn)盤的下端外壁與固定主體滑動接觸，所述轉(zhuǎn)盤的下端中心固定連接在電機的轉(zhuǎn)子上端，所述安裝主體的下端滑動插接安裝在固定主體的上端，所述電機、電動伸縮桿和半導(dǎo)體片勻通過外接電源電性連接，所述電機的外殼通過固定主體固定安裝，所述電動伸縮桿的上端通過固定架固定安裝。本發(fā)明能夠提高空間利用率，同時保障了打磨質(zhì)量，更好的滿足使用需要。