基于二維材料的共電極三維器件結(jié)構(gòu)及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110373665.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113113406A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113113406A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-13 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L27/088（2006.01）I;H01L21/8234（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 毛亞會(huì);劉玉菲;張斌;程璐;張文元 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 聯(lián)合微電子中心有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 羅泳文 |
| 地址 | 401332重慶市沙坪壩區(qū)重慶市沙坪壩西園一路28號(hào)附2號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種基于二維材料的共電極三維器件結(jié)構(gòu)及其制作方法，三維器件結(jié)構(gòu)包括：襯底、第一二維材料功能層、第一二維材料介質(zhì)層、二維材料共柵極層、第二二維材料介質(zhì)層、第二二維材料功能層、源極及漏極，第一、二二維材料功能層形成有源區(qū)及漏區(qū)，源極連接多個(gè)源區(qū)并實(shí)現(xiàn)源區(qū)的電引出；漏極連接多個(gè)漏區(qū)并實(shí)現(xiàn)漏區(qū)的電引出。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了二維材料場(chǎng)效應(yīng)晶體管的垂直互聯(lián)設(shè)計(jì)，所用絕緣介質(zhì)層、功能層、柵電極等均為二維材料，二維材料垂直方向尺寸極小，可以極大程度縮減器件垂直方向尺度，因此本發(fā)明可有效實(shí)現(xiàn)垂直方向的三維器件集成小型化。 |
