一種控制柔性線(xiàn)路板批次線(xiàn)寬差異的曝光方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911044561.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110750036B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-05-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110750036B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-10 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/20（2006.01）I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 葉新智;楊潔;孫彬;沈洪;李曉華 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇上達(dá)半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 徐州市三聯(lián)專(zhuān)利事務(wù)所 | 代理人 | - |
| 地址 | 221300江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)遼河路北側(cè)、華山路西側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種控制柔性線(xiàn)路板批次線(xiàn)寬差異的曝光方法，包括以下步驟：1柔性線(xiàn)路板通過(guò)曝光裝置時(shí)，由米數(shù)計(jì)數(shù)器計(jì)算通過(guò)的長(zhǎng)度；2當(dāng)柔性線(xiàn)路板通過(guò)設(shè)定的長(zhǎng)度數(shù)值時(shí)，米數(shù)計(jì)數(shù)器將此信號(hào)反饋給主控制器；3主控制器經(jīng)過(guò)處理生成新的信號(hào)傳遞給曝光能量控制器；4曝光能量控制器接收到來(lái)自所述主控制器的信號(hào)后，控制柔性線(xiàn)路板下一階段長(zhǎng)度的曝光光量；5循環(huán)步驟1至4，直至完成全部柔性線(xiàn)路板曝光工作。本發(fā)明通過(guò)控制曝光能量來(lái)減弱光刻膠擴(kuò)散，從而控制因曝光到顯影時(shí)間不同而產(chǎn)生的線(xiàn)路偏差。 |
