一種ITO靶材注漿除泡設(shè)備的中央真空系統(tǒng)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822207393.X 申請日 -
公開（公告）號 CN209937242U 公開（公告）日 2020-01-14
申請公布號 CN209937242U 申請公布日 2020-01-14
分類號 B28B15/00;B28B17/00 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 周傳水;李雋;余永強(qiáng);柯尚文 申請（專利權(quán)）人 廣東凱盛光伏技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 左恒峰
地址 528137 廣東省佛山市三水區(qū)樂平鎮(zhèn)齊力大道南5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種ITO靶材注漿除泡設(shè)備的中央真空系統(tǒng)裝置，包括多個(gè)漿料罐，所述漿料罐外設(shè)有真空管道，所述漿料罐通過氣動閥連接到真空管道，所述真空管道連接有排污罐，所述排污罐通過管道連接有真空罐，所述真空罐通過管道連接有真空泵，所述真空罐上方設(shè)有壓力表。真空泵將真空罐抽成近真空狀態(tài)，壓力表顯示真空罐內(nèi)的壓力情況，與真空罐相連的排污罐會通過真空管道將漿料罐內(nèi)的泡沫抽到排污罐內(nèi)。這樣通過真空管道統(tǒng)一將漿料罐內(nèi)的泡沫抽出，不用一臺漿料罐配一臺真空泵，該裝置結(jié)構(gòu)簡單、占地面積小，設(shè)備電線線路少，設(shè)備維護(hù)工作量小，有利于工業(yè)生產(chǎn)。