一種用于ITO靶材清洗烘干裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201920951199.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210754111U | 公開（公告）日 | 2020-06-16 |
| 申請公布號 | CN210754111U | 申請公布日 | 2020-06-16 |
| 分類號 | B08B3/12(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 柯尚文;周傳水;李雋;余永強;康明鋒;董永亮;范家偉 | 申請（專利權(quán)）人 | 廣東凱盛光伏技術(shù)研究院有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 廣州嘉權(quán)專利商標事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 左恒峰 |
| 地址 | 528137廣東省佛山市三水區(qū)樂平鎮(zhèn)齊力大道南5號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種用于ITO靶材清洗烘干裝置，本清洗烘干裝置使用時，將載有ITO靶材的架子放置于水槽中，通過純水水喉將純水通入水槽內(nèi)，啟動超聲振子開始清洗，清洗完成后，通過排水管將水槽內(nèi)的水排盡，開啟電阻加熱棒進行烘干；使ITO靶材一次完成清洗烘干，消除ITO靶材在清洗干燥過程中因轉(zhuǎn)移碰撞造成的殘次品；省去數(shù)個水槽，縮小設(shè)備占用空間，節(jié)省設(shè)備成本，簡化工藝流程，提高效率。?? |
