一種用于ITO平面靶材清洗防碰撞裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201920951198.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210754110U | 公開（公告）日 | 2020-06-16 |
| 申請公布號 | CN210754110U | 申請公布日 | 2020-06-16 |
| 分類號 | B08B3/12(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 柯尚文;周傳水;李雋;余永強;康明鋒;董永亮;范家偉 | 申請（專利權）人 | 廣東凱盛光伏技術研究院有限公司 |
| 代理機構 | 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 | 代理人 | 左恒峰 |
| 地址 | 528137廣東省佛山市三水區(qū)樂平鎮(zhèn)齊力大道南5號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種用于ITO平面靶材清洗防碰撞裝置，將第一隔板嵌入長方體容器的兩條相對應的凹槽內，使其平行長方體容器側面。然后將第二隔板嵌入相鄰兩個第一隔板上的凹槽內，使其平行于長方體容器的前后面；由此將長方體容器內部空間分割成若干個小的長方體槽，最后將批量ITO平面靶材放入小長方體槽中，再把本裝置浸沒在清洗池內，進行超聲清洗。完成超聲清洗后，靶材沒有發(fā)生碰撞而崩角或開裂現(xiàn)象，靶材表面潔凈。?? |
