ITO平面靶材清洗固定裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021675947.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213613021U 公開(kāi)（公告）日 2021-07-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN213613021U 申請(qǐng)公布日 2021-07-06
分類號(hào) B08B3/12;B08B13/00 分類 清潔;
發(fā)明人 柯尚文;周傳水;李雋;余永強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東凱盛光伏技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 薛建強(qiáng)
地址 528137 廣東省佛山市三水區(qū)樂(lè)平鎮(zhèn)齊力大道南5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種ITO平面靶材清洗固定裝置，包括側(cè)板、固定架、底桿；所述側(cè)板采用兩片且分列于兩側(cè)，所述側(cè)板上部設(shè)有手提孔；本清洗固定裝置使用時(shí),將板狀的ITO平面靶材的一端從上固定架的兩根相鄰的縱桿之間插入，再插入下固定架的兩根相鄰的縱桿之間，裝載完畢后，通過(guò)手提孔，將裝載有ITO平面靶材的本清洗固定裝置放進(jìn)超聲清洗池中，浸沒(méi)在清洗介質(zhì)中進(jìn)行清洗工序，清洗完后，ITO平面靶材表面無(wú)油漬無(wú)粉塵，無(wú)崩角，無(wú)開(kāi)裂。