一種半導(dǎo)體器件及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011629130.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN114695544A 公開(kāi)(公告)日 2022-07-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN114695544A 申請(qǐng)公布日 2022-07-01
分類(lèi)號(hào) H01L29/778(2006.01)I;H01L21/335(2006.01)I;H01L29/40(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 李元;裴軼;徐廣澤 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 蘇州能訊高能半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專(zhuān)利代理有限公司 代理人 -
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市高新區(qū)晨豐路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種半導(dǎo)體器件及其制備方法,半導(dǎo)體器件包括有源區(qū)以及圍繞有源區(qū)的非有源區(qū);半導(dǎo)體器件還包括:襯底;位于襯底一側(cè)的多層半導(dǎo)體層;位于襯底一側(cè)的至少一個(gè)屏蔽結(jié)構(gòu),屏蔽結(jié)構(gòu)與預(yù)設(shè)電位電連接,用于形成所述有源區(qū)指向所述非有源區(qū)的電場(chǎng)或零電場(chǎng)。本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案,通過(guò)設(shè)置屏蔽結(jié)構(gòu),同時(shí)屏蔽結(jié)構(gòu)與預(yù)設(shè)電位電連接,從而可以形成有源區(qū)指向非有源區(qū)的電場(chǎng)或零電場(chǎng),有效屏蔽銀離子,抑制其遷移至半導(dǎo)體芯片正面中心區(qū)域,得到性能穩(wěn)定的半導(dǎo)體器件。