SS-OCT間距測量中利用伺服系統(tǒng)諧振消鏡像的方法及其系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910644820.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110530276B 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN110530276B 申請公布日 2021-07-13
分類號 G01B11/14 分類 測量；測試;
發(fā)明人 史國華;王俊翔;馮長有;邢利娜;王冬月;潘道偉;樊金宇 申請（專利權(quán)）人 長春奧普光電技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)大卓悅知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 韓飛
地址 215163 江蘇省蘇州市高新區(qū)科技城科靈路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種SS?OCT間距測量中利用伺服系統(tǒng)諧振消鏡像的方法及其系統(tǒng)，本發(fā)明的方法利用伺服電機(jī)引起的諧振產(chǎn)生相位的正弦振動，并結(jié)合一種任意相位的消鏡像算法實現(xiàn)了鏡像消除。本發(fā)明的系統(tǒng)包括掃頻光源、環(huán)形器、波分復(fù)用器、光纖耦合器、參考臂、樣品臂、光電探測器、數(shù)據(jù)采集設(shè)備及電子計算機(jī)；所述光纖耦合器為50/50耦合器。所述參考臂包括第一準(zhǔn)直器、平面鏡及伺服電機(jī)系統(tǒng)，伺服電機(jī)系統(tǒng)包括伺服電機(jī)和傳動裝置，所述伺服電機(jī)通過所述傳動裝置帶動所述平面鏡移動及產(chǎn)生相位振蕩。本發(fā)明不需要在系統(tǒng)中引入額外的PZT，大幅度減少了系統(tǒng)的成本和復(fù)雜度，且消鏡像結(jié)果穩(wěn)定，成倍增加了系統(tǒng)單次測量量程。