一種提高UVLED出光效率的外延片

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021786531.5 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN212517228U 公開(公告)日 2021-02-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN212517228U 申請(qǐng)公布日 2021-02-09
分類號(hào) H01L33/12(2010.01)I; 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐良;劉建哲;史偉言;孫海定;郭煒;夏建白 申請(qǐng)(專利權(quán))人 黃山博藍(lán)特半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蕪湖眾匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 曹宏筠
地址 245000安徽省黃山市黃山九龍低碳經(jīng)濟(jì)園區(qū)翠薇北路66號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種提高UV LED出光效率的外延片,所述外延片從下到上依次為圖形化藍(lán)寶石襯底、超晶格緩沖層、3D GaN層、N型GaN層、N型AlGaN層、InGaN/GaN多量子阱層、P型AlGaN層、P型GaN接觸層;所述超晶格緩沖層為由若干對(duì)AlN/AlGaN/GaN/AlGaN交替堆疊組成的超晶格結(jié)構(gòu);所述圖形化藍(lán)寶石襯底為鍍有AlN的圖形化藍(lán)寶石襯底。通過本實(shí)用新型的外延片結(jié)構(gòu),一方面可以降低GaN外延層中的位錯(cuò)密度,從而提高量子阱中的輻射復(fù)合效率;另一方面在緩沖層質(zhì)量提高對(duì)整個(gè)多量子阱的發(fā)光產(chǎn)生更少的吸光效應(yīng),從而可以有效的提高光的反射,提高UV LED的出光效率。??