一種用于干法刻蝕圖形化藍(lán)寶石襯底的托盤結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021628683.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212517142U | 公開（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212517142U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-09 |
| 分類號(hào) | H01L21/673(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 彭艷亮;李昌勛;劉建哲;徐良;李京波;夏建白 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 黃山博藍(lán)特半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蕪湖眾匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 曹宏筠 |
| 地址 | 245000安徽省黃山市黃山九龍低碳經(jīng)濟(jì)園區(qū)翠薇北路66號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于干法刻蝕圖形化藍(lán)寶石襯底的托盤結(jié)構(gòu)，包括托盤和蓋在托盤上的上蓋；所述托盤上設(shè)置有一組與待加工晶片相適配的晶片定位凹槽，還設(shè)置有圓環(huán)，所述圓環(huán)的內(nèi)圈上設(shè)置有與托盤相適配的臺(tái)階，所述托盤置于臺(tái)階上，且在圓環(huán)的內(nèi)壁與托盤的外壁間設(shè)置有密封圈；所述托盤為碳化硅材料制得，所述上蓋和圓環(huán)為鋁材制得。本實(shí)用新型可無需借助擺片工裝，即可實(shí)現(xiàn)快速裝片，簡化了生產(chǎn)操作流程，提升了生產(chǎn)效率，也降低晶片劃傷的風(fēng)險(xiǎn)。且晶片下方無需放置密封圈，托盤下方無需設(shè)置通氦氣的孔，可減少氦氣泄露的發(fā)生，可廣泛應(yīng)用于LED襯底制造領(lǐng)域。?? |
