一種LED圖形化襯底用全自動(dòng)目檢機(jī)載臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023202339.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213519911U 公開（公告）日 2021-06-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN213519911U 申請(qǐng)公布日 2021-06-22
分類號(hào) H01L21/68（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L33/22（2010.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱偉明;李強(qiáng);周世和;劉建哲;張磊;祝小林;史偉言;李昌勛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 黃山博藍(lán)特半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蕪湖眾匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹宏筠
地址 245000安徽省黃山市屯溪區(qū)九龍低碳經(jīng)濟(jì)園區(qū)翠薇北路66號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種LED圖形化襯底用全自動(dòng)目檢機(jī)載臺(tái)，包括載臺(tái)本體，設(shè)置在載臺(tái)本體上的一組真空孔；所述載臺(tái)本體上設(shè)置有一組可上下移動(dòng)的支撐柱，還設(shè)置有一組呈放射性延伸的限位調(diào)節(jié)槽，每個(gè)限位調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有一個(gè)可在限位調(diào)節(jié)槽內(nèi)來回移動(dòng)的限位圓臺(tái)。本實(shí)用新型能夠保證晶片放置在載臺(tái)上的位置準(zhǔn)確性，同時(shí)，能夠保證在工作和移動(dòng)時(shí)晶片不會(huì)偏移，并保證載臺(tái)和晶片的清潔性，可廣泛應(yīng)用于LED襯底制造技術(shù)領(lǐng)域。