一種納米壓印翻模機工裝治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022488650.9 申請日 -
公開（公告）號 CN213149471U 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN213149471U 申請公布日 2021-05-07
分類號 G03F7/00(2006.01)I;H01L33/20(2010.01)I 分類 -
發(fā)明人 史偉言;彭艷亮;張磊;李京波;劉建哲;徐良 申請（專利權）人 黃山博藍特半導體科技有限公司
代理機構 蕪湖眾匯知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 曹宏筠
地址 245000安徽省黃山市屯溪區(qū)九龍低碳經(jīng)濟園區(qū)翠薇北路66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種納米壓印翻模機工裝治具，包括硬模板，設置在硬模板上可上下浮動的環(huán)形擋圈，設置在硬模板上方用于取出軟模板的取料盤；所述環(huán)形擋圈的外側設置有一圈沿環(huán)形擋圈半徑方向來回移動的離子風擴散裝置，所述離子風擴散裝置的內側壁上均勻設置有離子風出風孔，在離子風擴散裝置內設置有與離子風出風孔連通的主進風道及與主進風道連通的進風口；還設置有帶動離子風擴散裝置移動的驅動裝置。本實用新型通過等離子風消除軟膜表面的靜電，減少軟模板表面的顆粒和表面納米級尺寸粘連，從而保證軟模板的清潔度，滿足高精度加工的要求，提高產(chǎn)品的質量。??