一種刻蝕機裝片治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021873313.5 申請日 -
公開（公告）號 CN212934587U 公開（公告）日 2021-04-09
申請公布號 CN212934587U 申請公布日 2021-04-09
分類號 H01L21/687;H01L21/677;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱偉明;彭艷亮;陳亮;閆仕波;史偉言;李昌勛;劉建哲;徐良 申請（專利權(quán)）人 黃山博藍特半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 蕪湖眾匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹宏筠
地址 245000 安徽省黃山市黃山九龍低碳經(jīng)濟園區(qū)翠薇北路66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種刻蝕機裝片治具，包括操作臺，固定設(shè)置在操作臺上的支撐框，所述支撐框上設(shè)置有可翻轉(zhuǎn)的裝片托盤定位框，托盤定位框上設(shè)置有可打開的用于壓緊晶片的上蓋，還設(shè)置有可上下移動的支撐底托，支撐底托作用在裝片托盤上且可轉(zhuǎn)動。通過本實用新型能夠?qū)崿F(xiàn)晶片的快速定位安裝，且結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，裝配穩(wěn)定性好，可廣泛應(yīng)用于刻蝕機晶片定位安裝領(lǐng)域。