一種ITO靶材解綁裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920475130.9 申請日 -
公開（公告）號 CN209957865U 公開（公告）日 2020-01-17
申請公布號 CN209957865U 申請公布日 2020-01-17
分類號 C22B7/00;C22B58/00;C23C14/34 分類 冶金；黑色或有色金屬合金；合金或有色金屬的處理;
發(fā)明人 姚遠;杜寶珩;郭朋 申請（專利權）人 洛陽晶聯(lián)光電材料有限責任公司
代理機構 柳州市榮久專利商標事務所（普通合伙） 代理人 韋微
地址 471100 河南省洛陽市洛陽空港產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)隆華大道66號（洛陽市孟津縣麻屯鎮(zhèn)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種ITO靶材解綁裝置，包括工作平臺、二甲基硅油油浴裝置、靶材支撐架、背板支撐架、刮銦板和背板夾持器，所述二甲基硅油油浴裝置安裝在工作平臺上，靶材支撐架和背板支撐架安裝在二甲基硅油油浴裝置內(nèi)，二甲基硅油油浴裝置相對的兩側邊緣頂端分別設置有滑道，刮銦板活動安裝在其中一個滑道內(nèi)，背板夾持器活動安裝在另一個滑道內(nèi)。與現(xiàn)有技術相比較，本實用新型的優(yōu)點是：使用二甲基硅油對殘靶各面進行加熱，使焊料層（銦層）逐漸融化，從而使ITO靶材與銅背板脫離，此解綁方式一方面可以保證ITO殘靶的完整性；另一方面，使貴重金屬銦能夠得到回收，一定程度上節(jié)約了生產(chǎn)成本，同時過濾后的二甲基硅油也可以重復再利用。