一種連體真空鍍膜機(jī)柔性傳輸裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201822189361.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN209260196U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-08-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209260196U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-08-16 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/56 | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 趙文強(qiáng);尹忠樂(lè) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 佛山市南海區(qū)晶鼎泰智能科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 528000 廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)獅中村中西工業(yè)區(qū)梁錦平的廠(chǎng)房自編1號(hào)(住所申報(bào)) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種連體真空鍍膜機(jī)柔性傳輸裝置，包括工件裝爐室、鍍膜室、工件出爐室、過(guò)渡區(qū)、靶材,所述工件裝爐室的一側(cè)設(shè)有所述鍍膜室，所述鍍膜室的一側(cè)設(shè)有所述工件出爐室，所述鍍膜室與所述工件裝爐室和所述工件出爐室之間均設(shè)有所述過(guò)渡區(qū)，所述工件裝爐室、所述鍍膜室和所述工件出爐室上均設(shè)有所述靶材。設(shè)備的整體運(yùn)行穩(wěn)定性大大提高；因?yàn)楣ぜ辉俸娃D(zhuǎn)架一起整體平移，只需要單桿移動(dòng)，真空室之間的過(guò)渡門(mén)尺寸就不需要那么大，只需要整體平移方式的一半大小就可以滿(mǎn)足。成膜效率大大提升；各位位置的靶基距都完全一致，膜層沉積速率的一致性和膜層性能，都較整體平移方式有很大改善。 |
