一種覆銅陶瓷基板表面缺陷處理的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110691597.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113453437A 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN113453437A 申請公布日 2021-09-28
分類號 H05K3/02（2006.01）I;H05K3/00（2006.01）I;B24B1/00（2006.01）I;B24B27/00（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I;B24B41/047（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術;
發(fā)明人 李炎;賀賢漢;陸玉龍;陳元華;馬敬偉 申請（專利權）人 江蘇富樂德半導體科技有限公司
代理機構 上海申浩律師事務所 代理人 趙建敏
地址 224200江蘇省鹽城市東臺市城東新區(qū)鴻達路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導體技術領域。一種覆銅陶瓷基板表面缺陷處理的方法，包括以下步驟：步驟一，覆銅陶瓷基板入料，通過皮帶輸送，需拋刷面朝上；步驟二，覆銅陶瓷基板途徑研磨段研磨；研磨段設有陶瓷刷輥以及不織布刷輥；步驟三，覆銅陶瓷基板途徑拋刷段拋刷，拋刷段設有至少兩個不織布刷輥；步驟四，覆銅陶瓷基板途徑水洗段，通過噴淋水洗將研磨、拋刷的銅粉沖干凈，并由銅粉回收機進行回收；步驟五，覆銅陶瓷基板途徑干燥段。本專利可以有效的去除銅表面缺陷（如：疙瘩、皺皮等）。