一種氮氣氧化物傳感器芯片及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811555112.8 申請日 -
公開（公告）號 CN109632915A 公開（公告）日 2019-04-16
申請公布號 CN109632915A 申請公布日 2019-04-16
分類號 G01N27/41（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 曾詠平; 堯中華; 胡國付; 張喜成 申請（專利權）人 武漢澤科寧電子科技有限公司
代理機構 武漢開元知識產權代理有限公司 代理人 馬輝
地址 430056 湖北省武漢市經濟技術開發(fā)區(qū)西北湖四路昌華工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種氮氣氧化物傳感器芯片及其制造方法。該氮氣氧化物傳感器芯片，包括依次疊壓的上氧泵電池層、尾氣控制層、下氧泵電池層、多孔氧參比層、上加熱基板層和下加熱基板層，上氧泵電池層一面印刷上氧泵電極層，上氧泵電池層另一面與下氧泵電池層之間設有氣體檢測室和多孔氣體擴散障層，氣體檢測室內設有凸臺，通過凸臺設計，增大汽車尾氣與催化電極接觸面積，使更多非氮氧化物氣體被催化，提高檢測精度；采用多孔進氣口技術，可以過濾尾氣中顆粒，更好穩(wěn)定氣流及支撐結構，提高芯片強度和成品率；采用多孔陶瓷支撐技術，通過多孔架構制備參考空氣腔體，提高瓷片的力學強度，有利于提高成品率。