一種寬域式線性氧傳感器及制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810372977.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108414602A 公開(kāi)（公告）日 2018-08-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN108414602A 申請(qǐng)公布日 2018-08-17
分類(lèi)號(hào) G01N27/407;G01N27/41 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 堯中華;曾詠平;胡國(guó)付;張喜成 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 武漢澤科寧電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢開(kāi)元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 馬輝
地址 430056 湖北省武漢市武漢市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)西北湖四路昌華工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種傳感器，尤其是涉及一種寬域式線性氧傳感器及制造方法。該性氧傳感器，包括依次設(shè)置的外電極保護(hù)層、氧泵電池層、參考電壓感應(yīng)層和基板層，氧泵電池層和參考電壓感應(yīng)層之間設(shè)有尾氣氣腔，尾氣氣腔內(nèi)設(shè)有環(huán)形內(nèi)外擴(kuò)散障層。環(huán)形內(nèi)外擴(kuò)散障層包括第一擴(kuò)散障層和第二擴(kuò)散障層，通過(guò)梯度擴(kuò)散障技術(shù)，第一擴(kuò)散障層過(guò)濾尾氣中雜質(zhì)及對(duì)電極有毒顆粒，第二擴(kuò)散障層對(duì)尾氣進(jìn)行限流控制，提高傳感器的使用壽命，且達(dá)到了精確控流的效果；采用多孔陶瓷技術(shù)，通過(guò)調(diào)控組成控制孔隙率含量和分布，提高了傳感器的精確度和靈敏度；采用多孔陶瓷支撐技術(shù)，通過(guò)多孔架構(gòu)制備參考空氣腔體，顯著提高瓷片的力學(xué)強(qiáng)度，有利于提高成品率。